設備・装置全体で確認する主要な項目例
OQ （稼動時適格性確認）
| 1 | 温度 | 精度 | 変動幅 | 分布 | 制御範囲 | 上昇・下降時間 |
| 2 | 湿度 | 精度 | 変動幅 | 分布 | ||
| 3 | 圧力 | 精度 | 変動幅 | |||
| 4 | 回転 | 精度 | ||||
| 5 | 流速 | 精度 | ||||
| 6 | 流量 | 精度 | ||||
| 7 | 時間 | 精度 | ||||
| 8 | 清浄度 | 清浄度クラス | 換気回数 | 室間差圧 |
OQ （稼動時適格性確認）
| 1 | 温度 | 精度 | 変動幅 | 分布 | 制御範囲 | 上昇・下降時間 |
| 2 | 湿度 | 精度 | 変動幅 | 分布 | ||
| 3 | 圧力 | 精度 | 変動幅 | |||
| 4 | 回転 | 精度 | ||||
| 5 | 流速 | 精度 | ||||
| 6 | 流量 | 精度 | ||||
| 7 | 時間 | 精度 | ||||
| 8 | 清浄度 | 清浄度クラス | 換気回数 | 室間差圧 |