No.66 クリーンベンチの風速分布(その2)
1. 測定の概要
1.1 対象設備
※対象設備・測定器は前回 br>と同じです。今回は測定位置を変えて測定してみます。
□ クリーンベンチ
<仕様>
清浄度 : クラス100
1.2 測定に用いた測定器
□ 風速計
・型式 : 6531 (カノマックス社製)
・測定レンジ
: 0.00~9.99(m/sec)
10.0~30.0(m/sec)
1.3 測定の方法
測定は以下の方法で実施しました。
①クリーンベンチを運転する。
②クリーンベンチの前面シャッターを作業台から20mmに固定する。
③各測定位置(1.4 測定の状況の図参照)にて風速を測定する。
風速は1秒毎に10回測定し、平均値を測定値とした。
④クリーンベンチの前面シャッターを作業台から150/300mmで同様に測定する。
【検査点】
開口量(開口部の高さ) :20/150/300(mm)
測定箇所数 : 上中下3箇所(150/300mm)
中1箇所(20mm)
1.4 測定の状況
前面シャッター開口部の風速測定位置
2.測定した結果
2.1 測定結果の一覧表
各開口量での平均値
・開口部での上・中・下での測定値を纏めると以下のようになります。
(開口量20mm時は幅が狭いため、中央のみ測定としました)
2.2 測定結果のグラフ
※ご注意※
前面シャッターの高さ(位置)をメーカ指定の範囲外で使用するのはNGです。
前面開口部から外部に吹き出す気流が乱れて、外部の塵埃を作業空間に
巻き込む可能性があります。
3.適切な位置で使用する工夫
いつも適切な位置で使える工夫として、以下のようなものが考えられます。
・シャッターにストッパーをつける ・・・一定以上、物理的に開かないようにする。
・開け過ぎるとアラームが鳴る ・・・使用者に注意を促す
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