第320号 パスボックス内の清浄度は測り難い!!
(始めに)
パスボックスはクリーンルームとの機材などの出し入れ専用機器です。
お問い合せのパスボックスは、前面と背面に扉が付いていて、片方の扉が開くともう一方の扉が開かないようになるインターロック(電磁ロック)構造になっているので外部の汚染空気の流入を抑制することが出来るものです。
用途によっては、小型のエアーシャワー付きやローラーコンベア内蔵のタイプもある。
このようなパスボックス内の清浄度を測定したい!
現場では、パスボックスを通して、汚染された側から機器等をクリーンルーム内に移すこともあるため、パスボックス内が汚染されていないかと心配されると思います。
(時々頂くお問い合せは、そんなお気持ちではないかと思いました)
※ まずは、
パスボックス内の清浄度を、埃や微粒子などを計数する微粒子測定器
(気体パーティクルカウンタ)で測定したいと思います。
(模造した)パスボックス内の清浄度は、極端に低下しました。
模造したパスボックス(250mm×250mm×210mm)内部をパーティクルカウンタを使って測定しました。
(但し、パーティクルカウンタの流量⇒2.83L/minで測定)
[実験の概要]
[測定結果とグラフ]
□ 測定結果から
・どの粒径においても、測定経過時間が5分で約80%も低下した。
・測定経過時間が35分経つと、測定値はほぼゼロになった
※ 但し、上記の実験は、あくまで一例で、種々の条件により計測値は
異なります。
■ このように、パーティクルカウンタで測定すると、微粒子数が
どんどんと減っていくので、どの値を採用して評価して良いか
困ってしまいます。
パスボックスの機能評価が難しい?
今回の測定では、微粒子の値の変化が大きくて、実際、これらの値をどのように取り扱って、パスボックスを評価して良いか分からない状況です。
□ このように微粒子の値の変化が大きくなってしまう原因が分かれば、
対応の仕方も想定できると考えますので
次回、微粒子の数が変化してしまう原因とその対応を考えて、
お届けしたいと思います。
※ 当社は、
この様な実験の方法や測定データ等のノウハウで、
どんな環境においても、お客様に満足して頂ける作業を
お届けする努力を続けています。
最後まで、お読みいただき有難うございました。